Applications
- Verre architectural
- Ecrans tactiles & écrans plats
- Applications OLED
- Applications sur verre intelligent
- Films transparents antistatiques
- Cellules photovoltaïques
- Applications de dégivrage & de chauffage
- Batteries et piles
Mesure de la Résistance Superficielle
La série EddyCus® TF inline combine des équipements standardisés et personnalisés pour permettre une assurance de qualité intégrée dans les lignes de production automatisées. Les vérifications typiques ainsi obtenues en ligne concernent la mesure d’épaisseur et la mesure de la résistance superficielle. La technologie des courants de Foucault facilite le suivi complet des procédés de dépôt sur la largeur totale du produit. Les différents modules du système permettent d’adapter parfaitement l’outil de mesure aux besoins de chaque utilisateur. Cette solution de mesure en ligne et sans contact permet un contrôle de la qualité pendant
- Les procédés de dépôt
- Les procédés de recuit
- Les procédés de dopage
| Couches minces transparentes | Couches minces métalliques |
|---|---|
| ITO (Oxyde d'indium-étain) | Aluminum |
| Nano-tubes en carbone | Molybdène |
| Couches minces de graphène | Argent |
| Nano-fils et nano-réseaux métalliques | Cuivre |
| Couches minces de nano-particules | et beaucoup d’autres |
Logiciel & Utilisation
Le logiciel de contrôle de l’EddyCus® TF inline inclut des modules pour la représentation, l’archivage, l’évaluation et l’export de données. Le système est connecté à un ordinateur industriel ou un MES (Manufacturing Execution System) via Ethernet, RS 232 ou RS 485 pour assurer l’échange des données.
- Affichage en temps réel de la résistance superficielle ou de l’épaisseur
- Equipé d’une base de données SQL pour archivage et analyse des données
- Evaluation des données, résumés statistiques et rapports
- Différentes interfaces disponibles
Systèmes pour Mesure en Ligne
EddyCus® TF inline
Les systèmes EddyCus® TF inline proposent des solutions pour la mesure en ligne de la résistance superficielle et de l’épaisseur de couches minces, pour l’assurance de qualité et le contrôle de procédé.
- Suivi de la résistance superficielle [Ohm/sq]
- Suivi de l’épaisseur de couches minces [nm]
- Mesure d’épaisseur pour des substrats de faible ou forte conductivité [µm]
Spécifications & Configurations
| EddyCus® TF inline | ||
|---|---|---|
| Ouverture de mesure | 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (autres sur demande) | |
| Nombre de têtes de mesure | 1-99 | |
| Subtrats | Verre / Films PET / Plaquettes | |
| Couches conductrices | Métaux / TCOs / nano-tubes en carbone (CNTs) / nano-fils / graphène / réseaux | |
| Gamme de résistance superficielle couverte par les différentes sondes |
0,001 – 10 Ohm/sq < 2% exactitude 10 – 100 Ohm/sq < 3% exactitude 100 – 1.000 Ohm/sq < 5% exactitude |
|
| Environnement | Sous air / sous vide < 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F sur demande) |
|
| Taux d’échantillonnage | 1 / 10 /50 /100 /1000 mesures par seconde (plus sur demande) | |
| Epaisseur | 2 nm à 2 mm, en fonction de la résistance superficielle | |
| Autres mesures intégrées | Epaisseur et température de substrat / transmission optique | |
| Autres composants, en option | Hardware trigger / DMC, lecteur de code-barres | |
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