Die EddyCus® TF Serie (thin-film) ermöglicht u.a. eine kontaktlose Echtzeit- Messung des Schichtwiderstandes von Dünnschichten unter Nutzung des Wirbelstromverfahrens. Auch lassen sich verborgene bzw. gekapselte Dünnschichten und hochempfindliche Dünnschichten auf Glas, Wafern oder Folien berührungslos bewerten. Anwendungen sind:
- Flächenwiderstandsmessung von 0,1 mOhm/sq bis 3000 Ohm/sq
- Schichtdickenmessung von Metallschichten von 5 nm bis 500 um
- Leitfähigkeits-Mapping ab 1% IACS (0,6 MS/m)
Non-contact Sheet Resistance Measurement Solutions
Die EddyCus® TF lab Geräte sind Desktopgeräte für die schnelle berührungslose Charakterisierung von Dünnschichten in Prüflaboren, F&E-Einrichtungen und in Qualitätssicherungsabteilungen in Unternehmen.
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Prüfaufgaben
- Schichtwiderstandsmessung/Flächenwiderstandsmessung zur Bewertung von Abscheideprozessen, Annealing-Prozessen, Dotierungsprozessen, Abtragungsprozessen und zur Bewertung der Alterung von Dünnschichten
- Schichtdickenmessung von Metallschichten
Die EddyCus® TF inline Serie umfasst Integrationskits für Produktionslinien für die prozessnahe Qualitätsbewertung und Prozesssteuerung von Abscheideprozessen von leitfähigen Dünnschichten in Unternehmen und F&E-Einrichtungen.
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Prüfaufgaben
- Inline-Schichtwiderstandsmessung und Optimierung der Targetausnutzung
- Inline-Schichtdickenmessung von metallischen Dünnschichten
- Substratdickenbewertung
- Riss- und Bruchprüfung, Materialsortierung
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Die EddyCus® TF map Serie umfasst freistehende Prüfstände und Desktop-Geräte für das Mapping von Schichtwiderständen, Leitfähigkeiten sowie für das Erfassen von lokalen Effekten und Defekten in Prüflaboren, F&E-Einrichtugnen und in Qualitätssicherungsabteilungen in Unternehmen.
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Prüfaufgaben
- Mapping des Schichtwiderstandes von Dünnschichten, Metallisierungen und Wafern
- Homogenitätsmapping und Fehlererkennung, z.B. Verunreinigungen, Risse, Abscheideeffekte
- Darstellung von strukturierten leitfähigen Dünnschichten, auch in verdeckten Schichten
- Bewertung der Leitfähigkeit von Randschichten, z.B. für die Bewertung der Erodierbarkeit
- Schichtdickenmapping von metallischen Dünnschichten.
Materials & Industries
Transparente Dünnschichten
- TCOs (ITO, FTO, AZO, ATO)
- CNT (Carbon Nano Tubes)
- Metall-Nano-Drähte
- Graphen
- Sonstige
Metallische Dünnschichten
- Kupfer
- Aluminium
- Molybdän
- Zink
- Silber
- Sonstige
Einsatzgebiete
- Architekturglas/Floatglas
- Verpackungsfolien & Materialien
- PV/Solar & antistatische Folien
- OLED- & Smart-Glass-Anwendungen
- Halbleiterindustrie
- Enteisungs- und Heizanwendungen